[业务]

       真空泵产品及相关业务产量较去年同期大幅增长，主要原因系真空泵打开光伏行业渠道，销售订单大幅增加。

        真空泵在半导体行业应用广泛，设备更新需求大，光伏下游扩产积极，需求快速扩张，据测算，22-23年光伏真空泵需求规模分别为54.3/47.3亿元。

[真空泵]

        真空泵是真空获得设备中的主要种类，用于获得、改善和(或)维持真空环境。真空技术主要是建立低于大气压力的物理环境，以及在此中进行工艺制作、物理测:量和科学试验等所需的技术获得的真空度可以分为四档。

       按照工作原理的不同，真空泵分为气体传输泵和气体粘合或捕集泵两大类,其中气体传输泵的市场规模占比约为65%。

        全球真空市场规模为45.4亿欧元,我国干式螺杆真空泵渗透率提升。根据ISVT数据，2019 年全球真空市场规模为45.4亿欧元。真空泵被广泛应用于制药、化工、食品、电子等下游行业。

[光伏真空泵]

        真空泵为光伏设备的关键部件之一。光伏电池主要分为四大流程:硅料制程、硅片制程、电池片制程和组件制程。真空泵主要应用于硅片拉晶，电池片高方阻扩散(低压扩散炉)和PVD、PECVD镀膜工艺，组件层压环节等。

        2022/2023年硅片环节真空泵市场将达13.3/14.2亿元，其中新增装机市场10.5/10.4亿元，维修市场2.8/3.8亿元，随着存量真空泵的规模扩大，维修和替换需求将贡献更多市场增量。

[半导体应用]

        随着全球半导体市场的稳步增长，干式真空泵在半导体领域的应用市场空间不断增长。干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装、 测试等清洁或严苛制程。根据IC Insights数据，2021 年全球晶圆产能2.43亿片(折算成8英寸)，增长8.5%，预计2022年将增长8.7%,达2.64亿片，新增晶圆开工量创历史新高,产能利用率有望维持在93%的高水平。

       2022年全球半导体用干式真空泵市场将达196.4亿元，同比增长9.3%。

风险提示:真空泵销量不及预期。