近年来虽然LDP技术在曝光光源中的应用逐步被LPP 技术取代,但LDP 结构简单、成本低,可以直接将电能转换成等离子体,具有较高的能量利用效率,在掩模检测、显微成像、光谱计量等方面已有重要应用。既然如此,为何LDP会被LPP取代?