荷兰出台半导体设备出口管制措施,ASML回应1980系列不受影响符合预期
夜长梦山
2023-07-02 20:43:01
[华泰电子]荷兰出台半导体设备出口管制措施,ASML回应1980系列不受影响符合预期
☀️6月30日荷兰政府正式出台半导体制造设备的出口管制措施,主要针对先进的芯片制造技术,限制材料,设备及技术,包括1)EUV光罩保护膜,2)EUV光罩保护膜生产设备,3)光刻设备,4)符合特定条件的ALD设备,5)用于Si,碳掺杂硅,SiGe,或者碳掺杂SiGe外延生长的设备,6)low k沉积设备,7)以上受限设备所需的软件,8)以上受限设备所需的技术
☀️1# 受限制光刻机具有以下一项或两项特性:
1.光源波长小于193nm;或
2.光源波长等于或大于193nm:
a.最小分辨率(MRF)小于或等于45nm
b.在同一台设备上的套刻精度(DCO)小于或等于1.5nm
对此ASML回应仅2000i及后续的更先进的光刻机出口需要获得审批, 从官网参数来看,ASML NXT1980Di MRF=38nm,但DCO=1.6nm,1980系列不在限制范围内,新的荷兰出口管制条例将于2023年9月1日生效。ASML可以在该日期之前开始提交出口许可证申请。
☀️2# 条例中提及的ALD设备,外延生长设备,low k沉积设备主要限制ASMI对外出口,ASMI是全球市占率最高的ALD设备供应商。
条例中ALD设备限制①.具有以下所有特征:
a.一种以上的金属源,其中一种已被开发用于铝(AI)前体;和
b.原材料容器设计用于45°C以上的温度;
②.设计用于沉积具有以下所有特征的“台阶式”金属:
a.沉积碳化钛铝(TiAlC);和
b.高于4.0eV的“特定功函数的金属”的可能性。
☀️荷兰出口管制措施力度与前期市场预期一致,目前的制裁主要卡位先进制程,不改国内成熟制程扩产趋势,看好设备国产化加速。
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荷兰政府原文链接:Staatscourant202318212OverheidnlOfficilebekendmaki...
ASML声明链接:StatementregardingexportcontrolregulationsDutchgov...
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