怂鱼
2024-11-11 12:37:32
感谢分享
@k神你好：
1：去年的“光刻厂”并非空穴来风，而是科研人员真真切切在推进的项目。在最近的IWAP（国际先进光刻技术研讨会）上，包括合肥光源在内的科研机构已经把同步辐射光源从EUV光刻领域推进到了掩模版缺陷检测。
2：合肥光源是国际最先进、亚洲唯一低能量区第四代同步辐射光源，被称为“前沿科研的眼睛”。根
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