2024年半年报披露,子公司东阳凯阳持有徐州博康23.2176%的股权。据徐州博康官网介绍,公司是国内一家从原材料到成品光刻胶供应商。包括ArF-immersion(topcoat less)产品和ArF-dry产品,树脂结构为甲基丙烯酸酯/丙烯酸酯系列体系,伴有金刚烷等功能单元,具有高分辨率、高灵敏度、耐刻蚀等特点,技术能力已经达到28nm技术节点,目前已有10+支产品在国内知名12寸Fab验证,部分产品已获批量订单。Arf光刻胶有23款处于研发改进阶段,其中最新立项Arf湿法类产品 9 款,可应用于28-14nm制程节点;有6款Arf光刻胶正在客户端进行产品验 证导入,品种类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺以及LOGIC, 3D NAND,DRAM等应用领域;2022年上半年形成销售的Arf光刻胶有2款。 S华懋科技(sh603306)S S张江高科(sh600895)S S中贝通信(sh603220)S
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