光刻机的核心部件包括光源、物镜、光束矫正器、掩膜版等11个部件。而其中光学镜头、光学光源和工件台又是其中的核心。由于需要将掩膜版上的图案完全复制到硅片上,这里就需要运用高数值孔径的镜头。高素质孔径的镜头直接决定了光刻机的分辨率和套值误差能力,而现在最先进的EUV极紫外光光刻机可以使用的镜头只能由卡尔蔡司生产。昨天联合光电董秘石锤具备生产光刻机镜头的能力!同花顺金融研究中心3月13日讯,有投资者向联合光电提问, 尊敬的董秘您好,现如今荷兰已明确禁止出口我国先进光刻机,如若我国不得不自助研发生产先进光刻机,作为光刻机最核心部件的镜头环节,贵司是否有能力和信心在其中展露头角,贡献一份关键力量。谢谢!公司回答表示,感谢您对公司的关注。凭借在光学领域多年的沉淀和深耕,公司在光学镜头及相关产业中已形成领先的核心技术优势和资源优势。公司具备生产制造光刻机镜头的技术和能力,具体的产品可根据客户的需求进行合作研发并定制。公司持续紧跟行业和技术发展趋势,对行业关键核心技术、前瞻性技术进行重点研发,并根据企业经营发展的实际需要,提前布局产业、产品和技术,增强公司的市场竞争力。谢谢。
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