【微导纳米】首台百瓦钙钛矿ALD设备顺利出货至头部客户
夜长梦山
2024-03-06 12:47:20
浙商机械 邱世梁|王华君【微导纳米】首台百瓦钙钛矿ALD设备顺利出货至头部客户,光伏产业化拼图再下一城
事件:据微导公众号,公司首台大面积百兆瓦钙钛矿电池ALD设备发货至行业头部客户,钙钛矿ALD设备进入产业化验证阶段。
⭐设备亮点:
1、钙钛矿专用量产型ALD设备,主要应用于SnO2薄膜的制备。
2、克服低温、无损、大面积均匀等难点,满足产业化工艺节拍和高膜厚均匀性要求。
公司钙钛矿设备进展:
1、2017年,和全球顶尖客户布局合作。
2、2022年,出货钙钛矿/HJT叠层电池ALD设备。
3、2023年11月,钙钛矿/HJT叠层电池获海外客户验收,刷新钙钛矿商业电池(258.15cm2)世界纪录。
4、2024年3月,首台量产百兆瓦钙钛矿ALD设备出货至行业头部客户。
5、目前全面覆盖三大技术路线——钙钛矿叠层、大面积玻璃基底和纯柔性钙钛矿,可提供Al2O3、SnO2、NiOX、ITO、C60和高水氧阻隔等膜层产业化量产装备。
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