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汉钟精机-光伏+玻璃基板+半导体设备

全面贯彻落实

2024-05-23 09:12:18

真空泵是一种重要的通用设备，广泛用于制药、化工、科学仪器等下游行业，半导体是其主要的应用领域，主要应用在刻蚀、成膜、离子注入等环节。由于芯片制程不断缩小，更加需要以高精度和均匀性执行制造过程，半导体工艺必须在高度受控的真空环境中运行。截至目前，发达国家的半导体相关产业已全部使用干式真空泵，我国近年来也呈现明显的干式真空泵替代油泵的趋势，目前国内的高端半导体行业已基本使用干式真空泵，据芯谋数据，全球晶圆厂直接采购耗材及备件中真空泵占比约10%
（一）以真空泵为例的核心零部件受产业链上下游周期波动影响
市场需求逐级向上传导至以真空泵为代表的零部件领域。下游器件市场的冷暖会反馈到上游制造领域的产能利用率，从而也影响了工厂的产能扩张计划，进一步干预了上游设备的出货情况，同时上游设备同步反馈对核心零部件的需求。
趋势4：从全球视角，当前下游需求没有明显改善甚至出现下行，因此预判全球大部分需求将依靠现有产能支撑，并不需要晶圆厂继续扩产。从国内视角，SEMI预测2023年半导体市场大量投资后，中国大陆将在2024年出现温和收缩。市场普遍预测国内半导体设备市场今年四季度才会出现回暖态势。
从半导体产业用真空泵角度，我们预判市场目前对真空泵需求仍较为稳定，在设备和晶圆厂扩产的需求回到合理区间范围后，设备厂的需求才可以传递到以真空泵为代表的零部件环节，从而拉动真空泵增量市场。
（二）国产替代2.0阶段将加剧市场竞争，需要加快产业布局以形成长期竞争优势
过去几年，国内旺盛的市场需求带动各家国内厂商的订单和份额的急剧增长，投资机构大量涌入半导体制造供应链的各个环节，导致新公司大量涌现，但是不可避免带来了激烈竞争。据不完全统计，半导体真空泵相关企业以多达20余家，各家均推出针对半导体市场的相关产品，以完善工艺覆盖度。预计未来国内设备和零部件企业竞争将加剧，开启半导体行业“国产化替代2.0”时代。
另外如零部件和耗材的密封环、真空阀门、质量流量计、陶瓷热盘等细分赛道出现较多新面孔，打破了部分细分行业完全被外国垄断的固有印象。其中部分公司已经在设备商、FAB厂端拿到订单，目前验证周期在1年左右，未来有望实现放量，国产化替代进程将进一步推进。
表 2 半导体真空泵生产企业（不完全统计）

注：1-普发真空与普旭真空已完成合并，因主营产品存在差异，此处仍分开列示。2-型号标注为SEMICON展示产品型号，展示产品型号不完全统计。
趋势5：当下，国内半导体真空泵市场空间，特别是国产替代空间相对广阔，各企业发展较快。在地缘政治的影响下，设备厂更有意愿开放产线进行验证，这将是一个极为难得的导入机遇，容纳更多企业发展，而在参与者日益增多的情况下，设备厂的选择余地更大，因此，技术成熟度以及产品导入时间成为了重要的竞争影响因素。
尽管国内厂商的半导体真空泵品类繁多，但从产品稳定性、可靠性角度看，仅有中科科仪、沈阳科仪等少数企业，布局半导体制程设备真空泵零部件时间较长，核心技术积累丰富，产品性能指标较优，已走在半导体真空泵国产化替代领域前列。其中，中科科仪集成电路专用CV、CVS系列磁悬浮分子泵已实现在OEM端的小批应用，沈阳科仪干泵在国内外主流半导体厂商的装机量已达数万台，也是唯一一家国产干泵在半导体领域装机量超过万台的企业。
从中长期来看，国内半导体真空泵企业产能供给开始集中爆发，受限于市场空间总量，叠加产线验证壁垒与客户黏性壁垒，预计具有先发优势和先进产品的企业有望凭借规模优势逐步挤压中小型厂商的市场空间，并形成正向反馈，构筑起长期的竞争优势。
在太阳能光伏领域，公司真空产品在太阳能光伏产业已深耕多年，产品应用在光伏长晶及电池片制程制造流程，国内光伏大厂及重要机台商客户有晶盛机电、深圳捷佳创、隆基绿能、北方华创、江苏微导、中环股份、通威股份、天合光能、晶澳科技、无锡连城等。
在半导体领域，干式真空泵真空设备作为芯片生产环节不可或缺的设备之一，汉钟精机有能满足半导体生产最先进工艺的全系列中真空干式真空泵产品，并拥有SEMI安全基准验证证书。
应用于半导体产业的真空泵，主要有以下三个系列产品：
PMF系列产品：体积小、节能，适用于LoadLock、Tansfer、Metrology等干净制程。
iPM系列产品：体积小、节能，适用于一般严苛工艺腔，PVD、 Ashing、Implant、 ETCH 等一般制程。目前在国际知名半导体代工厂及部分国产半导体设备商开始测试验证，预计 2024 年底可完成全系列产品的开发和完善，并开始全面推向市场。
iPH系列产品：抗沾黏、腐蚀、热氮气系统、壳体温度控制，适用于严苛工艺腔，如CVD、 ETCH 等严苛制程。在国内半导体行业，已通过部分 8 寸、 12 寸半导体芯片代工厂、封测厂以及半导体设备制造商的认可，开始批量交付。在晶圆厂的扩产项目，老旧晶圆、封测厂的他牌老旧型号真空泵的汰旧换新业务上也已开始批量交付。