以SSMB路线打破EUV光刻机封锁
据产业信息,清华大学EUV光源(工厂化)方案在雄安落地,用同步辐射源和自由电子激光两种混合光源形成SSMB-EUV光刻机光源绕开ASML封锁,在DUV光刻机之后突破EUV光刻机。
简单科普一下,SSMB-EUV光源路线是以工厂化的模式,将原本用于科研的大科学装置来产生极紫外光源,从而绕开了ASML超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器的技术路线。
形象一点的比喻就是将ASML EUV光刻机里面小型的光源部件光源变成类似工业园中的大型基础设施,凭借1千瓦级的超大功率(为ASML的40倍)供几台甚至几十台EUV同时使用。
直接上图@ 龙头东方钽业,唯二公司西部材料