异动
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JasonCraig
2023-03-13 16:24:36
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@踏浪修行王地瓜: 为改变半导体载流子浓度和导电类型需要对半导体表面附近区域进行掺杂。掺杂通常有两种方法:一是高温热扩散法,即将掺杂气体导入放有硅片的高温炉,将杂质扩散到硅片内的一种方法;二是离子注入法,通过离子注入机的加速和引导,将要掺杂的离子以离子束形式入射到材料中去。离子注入机是集成电路前道工序中的关键设备。1.
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