鼎龙股份3月10日早上公告,公司控股子公司武汉鼎泽新材料技术有限公司的氧化铝抛光液产品在某家公司28nm点HKMG艺的AICMP制程验证通过。
据公告,该款搭载公司自制研磨粒子的抛光液产品,难度极高,其各项参数均达到客户应用要求,通过客户端全方面工艺参数验证,并已进入吨级采购阶段。
作者已打电话去给董秘求证,董秘表示这项技术目前是国内独一家,没有竞争对手!供货对象因为签了保密协议不对外公开,不过我们自己用脚趾头想一下,国内能做28nm还有能有谁?
抛光液是集成电路制造中晶圆平坦化工艺的重要材料,其组分包含研磨粒子与化学成分,因而对其性质的控制,是决定化学机械平坦化制程中化学能力与机械作用的关键。从硅晶圆制造,到集成电路器件构建,再到芯片封装环节,抛光液被认为是贯穿于芯片“从砂到芯”的全流程材料。
鼎龙股份披露,目前公司研磨粒子已实现关键核心技术突破,可以满足客户定制化需求。研磨粒子是抛光液的核心,是世界公认的“技术护城河”。
公告称,目前,公司各制程抛光液在中国各个主流厂商的验证评价和市场推广工作已全面展开,部分客户的初步评价已经获得了客户端极好的评价结果。产能建设方面,武汉本部工厂一期全自动化抛光液生产车间已经建成,具备年产5000吨抛光液的生产能力,能够满足客户端订单需求。公司将根据市场情况尽快研究部署二期产能建设。
总结:重大技术突破+国内独家+没有竞争对手